特許

J-GLOBAL ID：200903072992493670

現像装置および現像方法

発明者： 美作 昌宏 ,  杉本 憲司
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-237581
公開番号（公開出願番号）：特開2000-068188
出願日： 1998年08月24日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】 現像液の弾き現象を抑制することにより、現像均一性を向上させるとともに現像不良を防止することができる現像装置および現像方法を提供することである。【解決手段】 基板保持部1に静止状態で保持された基板100外の一方側の位置から基板100上を通過して基板100外の他方側の位置までスリット状吐出口を有する現像液吐出ノズル11を移動させつつ基板100上に現像液を供給する。現像液吐出ノズル11による基板100上への現像液の供給終了から一定時間経過後、基板保持部1に保持された基板100を回転させることにより基板100上の現像液の大部分を振り切り、基板保持部1に静止状態で保持された基板100上に現像液吐出ノズル11により再び現像液を供給する。

請求項（抜粋）：

基板を保持する基板保持手段と、現像液を吐出する現像液吐出ノズルと、前記現像液吐出ノズルを移動させる移動手段と、前記基板保持手段を回転駆動する駆動手段と、前記現像液吐出ノズル、前記移動手段および前記駆動手段を制御する制御手段とを備え、前記制御手段は、前記基板保持手段に静止状態で保持された基板外の一方側の位置から基板上を通過して基板外の他方側の位置まで前記移動手段により前記現像液吐出ノズルを移動させつつ前記現像液吐出ノズルにより現像液を基板上へ供給し、一定時間経過後、前記基板保持手段に保持された基板を前記駆動手段により回転させた後に前記基板保持手段に静止状態で保持された基板上に前記現像液吐出ノズルにより現像液を供給することを特徴とする現像装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/30 502 ,  B05C 5/00

FI (4件)：

H01L 21/30 569 C ,  G03F 7/30 502 ,  B05C 5/00 Z ,  H01L 21/30 569 F

Fターム (11件)：

2H096AA25 ,  2H096GA31 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA12 ,  4F041BA34 ,  5F046JA02 ,  5F046JA06 ,  5F046JA11 ,  5F046JA13 ,  5F046JA27