特許
J-GLOBAL ID：200903072993390913
ワーク直線移動装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村上 友一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-337934
公開番号（公開出願番号）：特開平11-163092
出願日： 1997年11月21日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】 パーティクルが発生し難く、設置スペースを小さくする。【解決手段】 イオン注入チャンバ34にて基板10を転回可能に保持する把持部12を有し、この把持部12を前記チャンバ34の側部に形成したサイドチャンバ36に配置した直線移動機構により昇降させることで、イオンビームラインを横断する方向に基板を直線移動させる装置である。この発明では、前記直線移動機構を固定基部と前記把持部とを連結する一対の平行リンク機構18により形成するとともに、当該平行リンク機構同士を連結する関節ブロック20には各リンクの主回転節を巻掛けベルト32により連結して回転伝達を行わせ、前記固定部における主回転節には回転駆動機構を設けた。
請求項（抜粋）：
一対の平行リンク機構を中間の関節ブロックに連結した屈曲アーム機構を構成し、当該屈曲アーム機構の一端にワーク把持部を形成するとともに他端を固定基部に枢着してなり、前記関節ブロックにおける両リンク機構の回転節同士を巻掛けベルトにより連結して回転伝達させることにより先端ワーク把持部を直線移動可能としたことを特徴とするワーク直線移動装置。
IPC (6件)：
H01L 21/68
, B01J 3/02
, B25J 9/00
, B65G 49/07
, H01J 37/20
, H01L 21/265
H01L 21/68 A
, B01J 3/02 P
, B25J 9/00 C
, B65G 49/07 D
, H01J 37/20 B
, H01L 21/265 603 C
