特許
J-GLOBAL ID：200903072998495357
カラー式変形可能ミラーデバイス及び投射型画像表示装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-257388
公開番号（公開出願番号）：特開平9-101468
出願日： 1995年10月04日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：
【要約】【課題】 変形可能ミラーデバイス(DMD)の個々のミラーにそれぞれ光の三原色のうちのいずれかの色分離をさせることで、単板でカラー画像表示が可能なカラー式変形可能ミラーデバイスを提供することを目的とする。【解決手段】 印加された電子信号に応答して入射光を選択的に反射する偏向動作を行い得る複数の変形可能ミラーと、前記変形可能ミラー上に形成された回折格子とからなる構成を有する。従来の着色レジストを用いるカラーDMDに対し、深さ0.2μm程度の回折格子で色分離が達成できるため、残留応力によりミラーの平坦性が得られないという問題もなく、さらにミラー質量が小さくなるために、高速応答が可能である。また、RGB三原色に対応する回折格子を同時に形成できる。
請求項（抜粋）：
印加された電子信号に応答して入射光を選択的に反射する偏向動作を行い得る複数の変形可能ミラーを有するデバイスであって、前記変形可能ミラー上に回折格子を備えたことを特徴とするカラー式変形可能ミラーデバイス。
IPC (4件)：
G02B 26/08
, G02B 5/18
, G02B 27/18
, H04N 9/31
G02B 26/08 E
, G02B 5/18
, G02B 27/18 Z
, H04N 9/31 B
