電子放出素子及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：鈴江武彦 , 村松貞男 , 坪井淳 , 橋本良郎 , 河野哲 , 中村誠 , 河井将次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-164672
公開番号（公開出願番号）：特開2004-014234
出願日： 2002年06月05日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：

【課題】リーク電流を抑制可能な電子放出素子及びその製造方法を提供すること。【解決手段】本発明の電子放出素子は、基板10と、前記基板10上に形成され且つ互いに離間した一対の電極11a,11bと、前記一対の電極11a,11b上にそれぞれ形成され且つ前記一対の電極11a,11b間の距離よりも短い間隙を隔てて互いに離間した一対の導電膜12a,12bと、前記一対の導電膜12a,12b間に形成され且つ炭素と錫とを含有した電子放出膜13とを具備したことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に形成され且つ互いに離間した一対の電極と、前記一対の電極上にそれぞれ形成され且つ前記一対の電極間の距離よりも短い間隙を隔てて互いに離間した一対の導電膜と、前記一対の導電膜間に形成され且つ炭素と錫とを含有した電子放出膜とを具備したことを特徴とする電子放出素子。

IPC (4件)：

H01J1/316 , H01J9/02 , H01J29/04 , H01J31/12

FI (4件)：

H01J1/30 E , H01J9/02 E , H01J29/04 , H01J31/12 C

Fターム (20件)：

5C031DD17 , 5C036EE19 , 5C036EF01 , 5C036EF06 , 5C036EF09 , 5C036EG12 , 5C036EH11 , 5C127AA01 , 5C127AA05 , 5C127BA09 , 5C127BB03 , 5C127CC12 , 5C127DD82 , 5C127DD84 , 5C127EE08 , 5C127EE20 , 5C135AB03 , 5C135AB15 , 5C135BB02 , 5C135HH20

引用特許：

出願人引用 (5件)

特許第2727193号
電子放出素子、電子線発生装置及び画像形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-361352 出願人：キヤノン株式会社
特許第2932250号

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