特許

J-GLOBAL ID：200903073000843353

投影露光装置

発明者： 加門 和也
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-326158
公開番号（公開出願番号）：特開平5-159999
出願日： 1991年12月10日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：

【要約】【目的】 均一な照明を行うと共に照明光のパワーロスの軽減を図る。【構成】 ランプハウス21から発せられたインコヒーレント光は多面体プリズム23により複数の光束L1、L2及びL3に分割された後、集光レンズ26及び27等によりマスク29上に重ねて照射される。

請求項（抜粋）：

インコヒーレント光を発する光源と、前記光源から発した光を複数の光束に分割する多面体プリズムと、前記多面体プリズムにより分割された複数の光束をそれぞれ回路パターンが形成されているマスク上に重ねて照射させる集光レンズ系と、前記マスクを通過した光をウエハ表面に集光させる投影レンズ系とを備えたことを特徴とする投影露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 311 L ,  H01L 21/30 311 S

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-238121   出願人：株式会社ニコン