3次元表面形状測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：足立勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-035634
公開番号（公開出願番号）：特開平6-249624
出願日： 1993年02月24日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【目的】高速で測定物の表面部分のXYZ座標データを集積し、寸法測定や表面検査、リバースCAD機能を実行する。【構成】測定物1の表面部分をフリンジパターンを伴って投影する投影器4と、表面部分からの反射光を受け取るカメラユニット2、3を備え、カメラユニット2の視軸は投影器4の視軸に対して19 ゚から90 ゚の角度であり、カメラユニット3はカメラユニット2の視軸と少なくとも3 ゚離れている。またカメラユニット2は受け取った反射光を表す第一電気信号を送り、カメラユニット3は受け取った反射光を表す第二電気信号を送る。

請求項（抜粋）：

少なくとも二つの電気信号から測定物の表面を決定するために使用される3次元表面形状測定装置において、少なくとも測定物の表面部分を少なくとも一つのフリンジパターンを伴って照射する少なくとも第一照射手段と、前記表面部分から反射した照射光を受取る少なくとも二つの手段を備え、該少なくとも二つの手段の各々が前記第一照射手段に対して一定の空間的配置を有し、その第一手段は前記第一照射手段の視軸に対して第一角度をなす視軸を有し、その第二手段は前記第一照射手段の視軸に対し第二角度をなす視軸を有し、前記第二角度は前記第一角度とは異なり、前記第一手段は受け取った反射光を表す第一電気信号を送り、前記第二手段は受け取った反射光を表す第二電気信号を送ることを特徴とする3次元表面形状測定装置。

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開昭53-068267
特開昭50-070053
特開昭60-177207

全件表示

前のページに戻る