特許
J-GLOBAL ID：200903073023477702
サーモパイル型赤外線センサおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-060915
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090646
出願日： 1992年02月18日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【構成】 基板1に設けるピット部4と、この基板に設ける下絶縁膜51と、この下絶縁膜上でかつ基板のヒートシンク2に設ける薄膜サーミスタ3と、この薄膜サーミスタ上に設ける櫛形のサーミスタ電極31と、冷接点部71と温接点部72とを有するサーモパイル70とを備えるサーモパイル型赤外線センサ、およびその製造方法。【効果】 サーモパイル型赤外線センサに冷接点温度を測るための薄膜サーミスタを搭載することができ、冷接点部の温度がいかに変わろうと常に正確な冷接点温度を測定できるため、高感度で小型なセンサを得ることができる。
請求項（抜粋）：
基板に設けるピット部と、該基板に設ける下絶縁膜と、該下絶縁膜上で、かつ前記基板のヒートシンクに設ける薄膜サーミスタと、該薄膜サーミスタ上に設ける櫛形の形状を有するサーミスタ電極と、冷接点部と温接点部とを有するサーモパイルとを有することを特徴とするサーモパイル型赤外線センサ。
IPC (5件)：
H01L 35/00
, G01J 1/02
, G01J 5/02
, G01K 7/02
, H01L 35/34
