特許
J-GLOBAL ID：200903073023527483
管状炉
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西澤 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-312940
公開番号（公開出願番号）：特開平10-141863
出願日： 1996年11月07日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【課題】 所望の温度プロファイル通りに炉芯管の内部の温度分布を制御しうる管状炉を提供する。【解決手段】 炉芯管1内の空間を軸方向に分割した加熱部A、均熱部B及び冷却部Cごとに、電気回路上互いに独立した発熱部を配置すべく、加熱部A及び冷却部Cには炉芯管1の軸に平行に一対の片端子形のスパイラルヒータ2を設け、均熱部Bには、スパイラルヒータ2の中空部を軸方向に貫通して同軸的に配置されたSiC質の棒状ヒータ3の発熱部3aを配置する構成とした。そして、これら複数のヒータの発熱部に対応した領域内に熱電対9〜11を設け、発熱部ごとに温度制御を行う。
請求項（抜粋）：
回転駆動されることにより被処理物を転動させながら、その内部を一端側から他端側へ移動させる筒形の炉芯管と、前記炉芯管を包囲する断熱性の炉体と、少なくとも1以上のヒータに配設され、前記炉芯管内の空間を軸方向に分割した各領域を所定の温度に加熱する複数の発熱部と、前記各領域のうち、所定の発熱部に対応する領域に配設された温度センサとを具備してなり、かつ、前記複数の発熱部の一部が電気回路上互いに独立しており、対応する領域をそれぞれ所定の温度に加熱することができるように構成されていることを特徴とする管状炉。
IPC (4件)：
F27B 7/42
, F27B 7/34
, F27D 11/02
, F27D 19/00
F27B 7/42
, F27B 7/34
, F27D 11/02 B
, F27D 19/00 A
