特許
J-GLOBAL ID:200903073032005279

IC収納パレツトの搬送機構

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 村上 博 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-204812
公開番号(公開出願番号):特開平5-029433
出願日: 1991年07月19日
公開日(公表日): 1993年02月05日
要約:
【要約】【目的】 2つの搬送部を、ダミーパレットを設けることによって、1つの搬送部で賄うようにする。【構成】 搬送レール20面上のパレット1をパレットの後面を押して移送する搬送爪10とその爪の駆動機構と、パレット1とほぼ同一寸法でかつ搬送爪10がはまり込む穴17が移送方向と反対側の後方に設けられているダミーパレット15、このダミーパレット15を搬送レール20面上部で保持し、かつこのダミーパレット15を搬送レール20面へ載せるダミーパレット上下動機構18とで構成する。【効果】 機構製作コスト及び故障因子の削減と、槽内、昇降温時間の短縮が図れる。
請求項(抜粋):
ICを収納したパレットをIC測定部へ連続的もしくは間欠的に順次移送して供給する機構において、パレットを移送方向に対してガイドしながら滑走可能とする搬送レール、この搬送レール面上でパレットの後端を押してパレットを移送する搬送爪とその爪の駆動機構、この搬送爪の可動範囲内で、かつ上記搬送レールへ、外部よりパレットを供給するパレット送込み機構、上記パレットとほぼ同一寸法で、かつ上記搬送爪がはまり込む穴が移送方向と反対側の後方に設けられているダミーパレット、このダミーパレットを搬送レール面上部で保持し、かつこのダミーパレットを搬送レール面へ載せるダミーパレット上下動機構、上記ダミーパレットで押出された搬送レール面上のパレットを外部へ運び出すパレット引出し機構を備えたことを特徴とするIC収納パレットの搬送機構。
IPC (2件):
H01L 21/68 ,  H01L 21/66

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