熱処理装置及び熱処理装置の異常検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-279744
公開番号（公開出願番号）：特開2001-102320
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【課題】ランプ光を用いて基板に加熱を伴う処理を施す基板処理装置において、ランプ切れの検出を簡単な構成と方法により行う。【解決手段】電力供給部32aに接続した複数の加熱ブロック200a,200bには各4個ずつのランプ21a〜21hを設ける。そして、各ランプ21の導電線は電流の向きが対向する二本を被測定対象対として導電線23a,24aと導電線23b,24bに渡って電流検知器210が配置される。同様に、導電線23b,24bと導電線23c,24cに電流検知器220、導電線23cと23dとに渡って電流検知器210,220,230が配置される。これにより、ランプ切れが発生すると電流検知器210,220,230にり磁束の状態が検出されランプ切れを生じたランプ21a〜21dを特定することができる。

請求項（抜粋）：

基板に加熱を伴う処理を施す熱処理装置であって、電力の供給を受けて基板を加熱する複数の加熱手段と、前記複数の加熱手段のそれぞれに並列給電するのに接続された複数の導電線と、前記導電線の前記加熱手段に供給される電流の方向が対向する二本の導電線を被測定対象対として磁束の状態を検出する検知手段と、を備え、前記検知手段は、二対の被測定対象対を同時に測定し、うち一対を異なる検知手段と共通とすることを特徴とする熱処理装置。

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