放射線感光材料およびそれを用いるパターン形成方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青木朗 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-053726
公開番号（公開出願番号）：特開平5-257284
出願日： 1992年03月12日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：

【要約】【目的】電離放射線に対して透明性が優れ、かつ、十分なドライエッチング耐性をもつ放射線用感光材料を提供する。【構成】エステル部にノルボルナン骨格を有するアクリル酸エステルまたはα置換アクリル酸エステルの重合体または前記エステルの共重合体からなる放射線感光材料を用いる。

請求項（抜粋）：

エステル部にノルボルナン骨格を有するアクリル酸エステルまたはα置換アクリル酸エステルの重合体または前記エステルの共重合体からなる放射線感光材料。

IPC (5件)：

G03F 7/038 505 , G03F 7/004 503 , G03F 7/027 502 , G03F 7/039 501 , H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/30 301 R , H01L 21/30 361 L

引用特許：

審査官引用 (5件)

全件表示

前のページに戻る