特許

J-GLOBAL ID：200903073038674288

可撓性基板の洗浄装置

発明者： 丸山 徹
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 樺山 亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-065339
公開番号（公開出願番号）：特開2000-254605
出願日： 1999年03月11日
公開日（公表日）： 2000年09月19日
要約：

【要約】【課題】枚葉の可撓性基板を連続して搬送し、洗浄槽内の洗浄液中に浸漬し超音波振動を付与し洗浄する洗浄装置において、可撓性基板の液中への侵入時及び液中搬送時の搬送の安定化と、洗浄効果の向上を図る。【解決手段】本発明の洗浄装置においては、可撓性基板1を洗浄槽2内の洗浄液2a中に浸漬し一定方向に搬送する手段として、洗浄液中において可撓性基板1を載置し搬送する複数の搬送ホイール3と、搬送ホイール3に対向配置した複数の噴出ノズル4を設け、噴出ノズル4により搬送ホイール3上の可撓性基板1に向けて洗浄液を噴流式に吹き付け基板に動圧を付与し、該基板1を搬送ホイール3に押し付けながら搬送する構成とした。これにより可撓性基板の洗浄液中への侵入時における基板先端の液面への浮き上がりと気泡の巻き込みを防止でき、液中における基板の浮き上がりも防止できるので、搬送の安定化と洗浄効果の向上が図れる。

請求項（抜粋）：

可撓性を有する枚葉の基板を連続して所定方向に搬送し、洗浄槽内の洗浄液中に浸漬し超音波振動を付与し洗浄する可撓性基板の洗浄装置において、前記可撓性基板を前記洗浄槽内の洗浄液中に浸漬し、一定方向に搬送する手段として、前記洗浄液中において前記可撓性基板を載置し搬送する複数の搬送ホイールと、該搬送ホイールに対向配置した複数の噴出ノズルを設け、該噴出ノズルにより前記搬送ホイール上の可撓性基板に向けて前記洗浄液を噴流式に吹き付け前記可撓性基板に動圧を付与し、該可撓性基板を前記搬送ホイールに押し付けながら搬送することを特徴とする可撓性基板の洗浄装置。

IPC (5件)：

B08B 3/12 ,  B08B 3/02 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H04R 1/44 330

FI (5件)：

B08B 3/12 D ,  B08B 3/02 C ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H04R 1/44 330 C

Fターム (21件)：

2H088FA17 ,  2H088FA21 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H090JB03 ,  2H090JC19 ,  3B201AA04 ,  3B201AB14 ,  3B201AB42 ,  3B201AB47 ,  3B201BB02 ,  3B201BB03 ,  3B201BB22 ,  3B201BB33 ,  3B201BB62 ,  3B201BB85 ,  3B201CB12 ,  3B201CD22 ,  5D019AA00 ,  5D019FF02