ギャップ測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-137953
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327334
出願日： 1995年06月05日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：

【要約】【目的】本発明は、2つの被測定面間のギャップ測定を高能率かつ高精度に行うことのできるギャップ測定装置を提供することを目的とする。【構成】第1の光源10から出射されたレーザ光11をマスク1に照射してその反射光を検出し、これと共に第2の光源16から出射されたレーザ光17をプレート2に照射してその反射光を検出し、これら反射光を各検出器27、28によりその光量に応じた各電気信号e1、e2に変換出力し、ギャップ算出部29によりこれら検出器27、28から出力される各電気信号e1、e2のレベルに基づいてマスク1とプレート2とのギャップg0 を求める。

請求項（抜粋）：

平行な2つの被測定面間のギャップを測定するギャップ測定装置において、前記被測定面に対応して各別に設けられた一対の光源と、これら光源から出力された測定光を対応する前記被測定面に集光させる集光光学系と、この集光光学系による集光により前記各被測定面から反射した一対の反射測定光を分離する反射測定光分離光学系と、この反射測定光分離光学系にて分離された反射測定光を各別に受光して光電変換する一対の光電変換器と、この光電変換器における検出結果に基づいて前記ギャップを算出するギャップ算出手段と、を具備したことを特徴とするギャップ測定装置。

IPC (5件)：

G01B 11/14 , G01B 11/02 , G01B 21/16 , G01M 11/00 , H01L 21/027

FI (5件)：

G01B 11/14 Z , G01B 11/02 Z , G01B 21/16 , G01M 11/00 T , H01L 21/30 511

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