特許
J-GLOBAL ID：200903073044313351
光学式変位計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
瀧野 秀雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-249431
公開番号（公開出願番号）：特開平6-102025
出願日： 1992年09月18日
公開日（公表日）： 1994年04月12日
要約：
【要約】【目的】本発明は、ダイナミックレンジが広く、高速で信頼性の高い光学式変位計を提供することを目的とする。【構成】光源1からの光は、ビームスプリッタ2及び電気光学レンズからなる焦点可変レンズ7を経て物体表面4をスポット照射し、この反射光は焦点可変レンズ7からビームスプリッタ2で反射され、焦点誤差検出系5に入射する。この際、焦点誤差検出系5からの焦点誤差信号が一定となるように、制御手段は焦点可変レンズ7の焦点距離を制御し、この制御量から物体表面の変位が求められる。
請求項（抜粋）：
光源と、該光源からの放射光を物体表面に集光する集光手段と、物体表面からの反射光により該物体表面の変位を焦点誤差信号として検出する焦点誤差検出手段とを備えた光学式変位計において、前記集光手段に焦点可変レンズを用い、該焦点可変レンズの焦点距離を変えるための焦点距離制御手段を備えることを特徴とする光学式変位計。
IPC (2件)：
前のページに戻る
