特許
J-GLOBAL ID：200903073046013665
石英チユーブ洗浄機
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 弘 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-257781
公開番号（公開出願番号）：特開平5-096260
出願日： 1991年10月04日
公開日（公表日）： 1993年04月20日
要約：
【要約】【目的】洗浄槽内に反応生成物が残存しないようにして、パーティクルの発生を防止する。【構成】洗浄槽11と、該洗浄槽11に取り付けられて石英チューブを回転するための回転機構16と、前記洗浄槽11に純水を供給する第1注水管13a及び第2注水管13bとを備えている。そして、前記洗浄槽11の底面12には排水口15が設けられている。更に、前記洗浄槽11内の底部12には反応生成物の逆流を防止するための逆流防止板14が設けられている。加えて、該逆流防止板14上に沿って純水の流れを生成するように該純水を洗浄槽11に供給するための第3注水管13cが設けられている。この結果、清い純水の流れを洗浄槽11内全体で生じさせることができ、反応生成物の残留を防止する。また、前記逆流防止板14上に清い純水の流れを作り反応生成物の再付着を防止する。
請求項（抜粋）：
石英チューブを洗浄するための洗浄槽と、該洗浄槽に取り付けられて石英チューブを回転するための回転機構と、前記洗浄槽に純水を供給する第1注水管及び第2注水管とを備えた石英チューブ洗浄機において、前記洗浄槽の底面に設けられた排水口と、前記洗浄槽内の底部に設けられて反応生成物の逆流を防止するための逆流防止板と、該逆流防止板上に沿って純水の流れを生成するように該純水を洗浄槽に供給するための第3注水管とを備えていることを特徴とする石英チューブ洗浄機。
IPC (4件)：
B08B 9/02
, C23C 14/35
, H01L 21/22
, H01L 21/31
