特許

J-GLOBAL ID：200903073050394282

基板検出装置

発明者： 武内 努 ,  中川 均
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-020211
公開番号（公開出願番号）：特開平11-204623
出願日： 1998年01月16日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：

【要約】【課題】構造が簡潔且調整が容易であり、ウェーハ等基板の検出が正確に行える基板検出装置を提供する。【解決手段】基板搬送プレート16に受載される基板5に対峙させて静電容量式センサ32を設け、該静電容量式センサが静電容量の変化量を検出することにより前記基板搬送プレート上の基板の有無を検出する。

請求項（抜粋）：

基板搬送プレートに受載される基板に対峙させて静電容量式センサを設けたことを特徴とする基板検出装置。