特許

J-GLOBAL ID：200903073052403610

ターボ分子ポンプ

発明者： 琴浦 貞行 ,  瀬井 武三
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 岡本 重文 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-320205
公開番号（公開出願番号）：特開平6-159287
出願日： 1992年11月30日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：

【要約】【目的】 メンテナンス周期を長くしたり、メンテナンスを不要にできる。【構成】 回転翼5と回転軸7とをもつロータ6を高速回転させ、ガスを吸気口2→隔壁16内のガス通路→排気口3の方向に流して、吸気口2を高真空にするとともに排気口3を低真空にする。このとき、加熱部15をコントロール可能な電気ヒータ14等の加熱手段により加熱して、この加熱部15の熱を熱の良導体17を経て隔壁16に伝え、ガス通路を形成する同隔壁16を加熱して、析出物の付着を防止するので、メンテナンス周期を長くしたり、メンテナンスを不要にできる。

請求項（抜粋）：

軸方向に交互に配列された複数の回転翼及び固定翼を有するターボ分子ポンプにおいて、ポンプ内部のガス流路に伝熱体からなる隔壁を設け、同隔壁とポンプ外部に位置する加熱部とを熱の良導体により連結し、上記加熱部を加熱する電気ヒータ等の加熱手段を同加熱部に設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。