四塩化珪素の製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-368081
公開番号（公開出願番号）：特開2002-173313
出願日： 2000年12月04日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
要約：

【要約】【課題】金属珪素と塩素を反応させて四塩化珪素を得る製造方法を提供する。【解決手段】本発明は、不活性なガスで3〜10倍(体積比)に希釈し反応器下部から供給する塩素と、金属珪素を半流動状態(スラッギング)で反応温度450°Cから800°Cで反応させる四塩化珪素の製造方法である。金属珪素は粒度が5mm以下、純度が90%以上のものが好ましく、また反応熱の除去には四塩化珪素を反応器の上部より噴霧することが好ましい。

請求項（抜粋）：

不活性なガスで3〜10倍(体積比)に希釈し反応器下部から供給する塩素と、金属珪素を半流動状態(スラッギング)で反応温度450°Cから800°Cで反応させる四塩化珪素の製造方法。

Fターム (7件)：

4G072AA12 , 4G072BB05 , 4G072GG03 , 4G072HH01 , 4G072JJ06 , 4G072MM38 , 4G072RR17

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