特許
J-GLOBAL ID：200903073055180205

微少突起物の高さ検出方法、高さ検出装置および欠陥検出装置

発明者：
松永 良治

松永 良治 について

, 
田畑 高仁

田畑 高仁 について


出願人/特許権者：
日立電子エンジニアリング株式会社

日立電子エンジニアリング株式会社 について


代理人 (1件)： 梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-248301
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074423
出願日： 1999年09月02日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：
【要約】【課題】高精度で高速な検出が可能なバンプ等の微少突起物の高さ検出方法、高さ検出装置あるいは欠陥検出装置を提供することにある。【解決手段】焦点誤差検出光学系の光学センサの分割幅を副走査方向の繰り返し走査幅に対応した長さとし、前記の走査幅で得られる検出領域の映像を光学センサで受けて、1走査ごとに一連の検出信号を得る。さらに、光ビームを振らせて繰り返し走査をして複数の検出信号を得ることで、微少突起の三次元的なデータを高速にかつ効率的に得ることができる。この三次元的なデータに基づいて高さ算出をし、あるいは欠陥検出をすることで、高い精度で微少突起の高さや欠け欠陥等を検出することが可能になる。
請求項（抜粋）：
検出対象となる微少突起を表面に有する物品を副走査方向に前記微少突起の幅よりも大きな走査幅で光ビームを振らせて繰り返し走査をしかつ前記微少突起が前記走査幅において前記光ビームにより複数回走査される速度で主走査方向に走査をして、焦点誤差検出光学系において前記走査幅に亙って得られる前記光ビームの反射光の結像をこれを受光する長さに亙って分割された光学センサで受光し、この光学センサにより得られる検出信号を複数個得て、これら複数個の前記検出信号に基づいて前記微少突起の高さを算出することを特徴とする微少突起物の高さ検出方法。
Fターム (24件)：
2F065AA24 ,  2F065AA54 ,  2F065CC01 ,  2F065CC19 ,  2F065CC25 ,  2F065DD06 ,  2F065FF42 ,  2F065GG06 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ17 ,  2F065JJ23 ,  2F065LL30 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065LL57 ,  2F065LL65 ,  2F065MM03 ,  2F065MM16 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ31
引用特許：
審査官引用 (4件)
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