特許
J-GLOBAL ID：200903073056951914
Al板の表面欠陥自動検査法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-280665
公開番号（公開出願番号）：特開平8-145911
出願日： 1994年11月15日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：
【要約】【構成】 アルマイト処理を施した被検査物であるAl板3に所定の角度から所定の面積に光を当ててCCDカメラ1で撮影し、その撮影画像をR、G、B毎にその濃度や面積を計る。このようにして光の反射光を波長別に分類してその強度と反射面積を数値化し、波長別に分類した前記数値と前記反射面積とを演算回路7で所定の演算処理することで表面欠陥の有無を判断するAl板の表面欠陥自動検査法。【効果】 異物混入等の表面欠陥が自動的に精度よく検査できるので製造コストの低減等に貢献し、また検査結果が数値化できるので製造工程等との相関解析も可能になる等の利点がある。
請求項（抜粋）：
アルマイト処理を施した被検査Al板に所定の角度から所定の面積に光を当て、この光の反射光を受光手段で感知し、感知した光を波長別に分類してその強度と反射面積を数値化し、波長別に分類した前記数値と前記反射面積とを所定の演算処理することで表面欠陥の有無を判断するAl板の表面欠陥自動検査法。
IPC (3件)：
G01N 21/89
, G01B 11/30
, G01J 3/46
