特許
J-GLOBAL ID：200903073057333610
欠陥定量化の推定方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-271889
公開番号（公開出願番号）：特開平5-087784
出願日： 1991年09月25日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：
【要約】【目的】容易に被検体の表面直下の欠陥の大きさと深さ等を定量化する。【構成】表面波を用いて被検体の表面直下の欠陥を定量化し推定する欠陥定量化の推定方法において、被検体の表面を伝播する表面波が該表面の直下の欠陥で反射して得られる反射信号のレベルを、深さ方向の振動振幅が異なる探傷周波数の高周波用表面波センサ及び低周波用表面波センサでそれぞれ検出し、それら検出値を予め人工欠陥を用いて求めた欠陥定量化曲線上にプロットして得られる交点座標により上記欠陥の深さと大きさとを定量化して推定する。
請求項（抜粋）：
表面波を用いて被検体の表面直下の欠陥を定量化し推定する欠陥定量化の推定方法において、被検体の表面を伝播する表面波が該表面の直下の欠陥で反射して得られる反射信号のレベルを、深さ方向の振動振幅が異なる探傷周波数の高周波用表面波センサ及び低周波用表面波センサでそれぞれ検出し、それら検出値を予め人工欠陥を用いて求めた欠陥定量化曲線上にプロットして得られる交点座標により上記欠陥の深さと大きさとを定量化して推定することを特徴とした欠陥定量化の推定方法。
IPC (2件)：
G01N 29/22 504
, G01N 29/10
