クリーニング装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梅田勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-285387
公開番号（公開出願番号）：特開平11-114507
出願日： 1997年10月17日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：

【要約】【課題】従来のクリーニング装置で除去できなかったガラスの削り屑等被洗浄物表面に密着した異物まで確実に除去できるクリーニング装置を提供する。【解決手段】被洗浄物表面の異物を除去するためのクリーニング装置であって、被洗浄物の表面の異物を除去する刃物からなる第1の異物除去手段と、上記第1の異物除去手段による異物除去後、被洗浄物表面に残った異物を除去する砥石からなる第2の異物除去手段とを備える。

請求項（抜粋）：

被洗浄物表面の異物を除去するためのクリーニング装置において、被洗浄物の表面の異物を除去する第1の異物除去手段と、上記第1の異物除去手段による異物除去後、被洗浄物表面に残った異物を除去する第2の異物除去手段とを備えたことを特徴とするクリーニング装置。

IPC (3件)：

B08B 1/00 , G02F 1/13 101 , H01L 21/304 341

FI (3件)：

B08B 1/00 , G02F 1/13 101 , H01L 21/304 341 M

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