特許

J-GLOBAL ID：200903073061419830

静電チャックとウェハの間の残留静電力を無効にするチャック開放電圧を決定する方法

発明者： マヌーチャー ビラン ,  ジアン ディン ,  ハイマン ジョセフ レヴィンステイン
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-106135
公開番号（公開出願番号）：特開平8-064664
出願日： 1995年04月28日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】 電気パルスを計測する必要がなく最適チャック開放電圧を決定すること。【構成】 本発明は、ウェハ(101)をチャック(110)から取り出すために静電チャックにおいてウェハ(101)上の残留静電力を無効にするのに最適なチャック開放電圧を決定する方法であって、チャック(110)に静電位を与えることによりウェハ(101)を静電チャック上に保持し、ウェハ(101)とチャック(110)の間にガスを導入し、ウェハ(101)とチャック(110)の間からのガスの漏れ率を観測しつつチャック(110)の静電位を低減し、漏れ率が所定の閾値を超えるときに得る静電位の値を最適チャック開放電圧として記録することを含む方法で具体化される。

請求項（抜粋）：

ウェハをチャックから取り出すために静電チャックにおいて該ウェハ上の残留静電力を無効にするのに最適なチャック開放電圧を決定する方法であって、前記チャックに静電位を印加することにより前記ウェハを前記静電チャック上に保持する工程;前記ウェハと前記チャックの間にガスを導入する工程;前記ウェハと前記チャックの間からの前記ガスの漏れ率を観測しつつ前記チャックの前記静電位を低減する工程;前記漏れ率が所定の閾値を超えるときに得る前記静電位の値を前記最適なチャック開放電圧として記録する工程;を含む方法。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  B23Q 3/15