特許
J-GLOBAL ID：200903073074573935
異物検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-248372
公開番号（公開出願番号）：特開平6-102189
出願日： 1992年09月17日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：
【要約】【目的】膜厚に関わらずに散乱光強度を高め、膜付き試料の異物を高い信頼性で検査することが可能な異物検査装置を提供することにある。【構成】Siウエハにレ-ザビ-ム14を照射し、Siウエハに付着した異物25からの散乱光を検出して異物25を検査する異物検査装置1において、レ-ザビ-ム14を膜付きSiウエハ11に任意の角度で照射するとともに、膜付きSiウエハ11の膜厚に基づき、レ-ザビ-ム14の入射光と反射光との干渉合成波の強度が高まるようにレ-ザビ-ム14の照射角を調節する。
請求項（抜粋）：
試料に検査光を照射し、上記試料に付着した異物からの散乱光を検出して上記異物を検査する異物検査装置において、上記検査光を膜付きの試料に任意の角度で照射するとともに、上記試料の膜厚に基づき、上記検査光の入射光と反射光との干渉合成波の強度が高まるように上記検査光の照射角を調節することを特徴とする異物検査装置。
IPC (2件)：
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