特許

J-GLOBAL ID：200903073076808034

型の製造方法

発明者： 林 政俊
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-277062
公開番号（公開出願番号）：特開2007-083628
出願日： 2005年09月26日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：

【課題】 正確な寸法精度を持つ型の製造方法を提供する。【解決手段】 リソグラフィとドライエッチングにより石英基板1の成形品を形成し、これを母型として使用する。すなわち、母型4と、定盤5の間に紫外線硬化型樹脂6を挟み込み、紫外線を照射して、紫外線硬化型樹脂6を硬化させ(d)、硬化後、紫外線硬化型樹脂6を母型4から剥離する。このようにして紫外線硬化型樹脂6の第1成形品が形成されるが(e)、これを第1番型7として使用する。すなわち、第1番型7と、定盤5の間に紫外線硬化型樹脂8を挟み込み、紫外線を照射して、紫外線硬化型樹脂8を硬化させ(f)、硬化後、紫外線硬化型樹脂8を第1番型7から剥離する(g)。このようにして、次々に紫外線硬化型樹脂の成形を行い、第n番型(n≧3)を作成する。このようにして、次々に型を作成していき、段差が目標値に近いものを、最終的に型として採用する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

型を構成する部分が樹脂からなる型であり、前記型の型面を構成する部分が、平面上に垂直な凹凸部分が形成された形状を有するものを製造する方法であって、前記型から形成される成形品における段差の大きさと、前記樹脂が固化するときの収縮率、及びベース補正値、予定転写回数に基づいて、マスター型を形成し、前記マスター型から型取りして第1の仮の成形品を形成し、前記第1の仮の成形品を型として使用して、型取りして第2の成形品を形成し、と言う工程を繰り返すことにより、第m(m≧3)までの仮の成形品を、段差の大きさが設計値以下となるまで繰り返し作成し、第mの仮の成形品、又は第(m-1)、(m-2)の仮の成形品を最終的な型として採用することを特徴とする型の製造方法。

IPC (2件)：

B29C 33/40 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

B29C33/40 ,  H01L21/30 502D

Fターム (10件)：

4F202AF01 ,  4F202AG05 ,  4F202AJ03 ,  4F202AR12 ,  4F202AR13 ,  4F202CA30 ,  4F202CB01 ,  4F202CD05 ,  4F202CD24 ,  5F046AA28