特許

J-GLOBAL ID：200903073083017255

超音波モータ

発明者： 高木 忠雄
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 鎌田 久男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-253820
公開番号（公開出願番号）：特開平8-126359
出願日： 1994年10月19日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：

【要約】【目的】 2次元方向に駆動が可能なL-B型の超音波モータを提供する。【構成】 電気機械変換素子2aと2c及び電気機械変換素子2b,2dをそれぞれ電気的に接続して第1及び第2のグループを形成し、各グループに互いに位相の異なる第1周波電圧を印加して、対象物との間にX方向の相対運動を生じさせ、電気機械変換素子2aと2b及び電気機械変換素子2c,2dをそれぞれ電気的に接続して第3及び第4のグループを形成し、各グループに互いに位相の異なる第2周波電圧を印加して、前記対象物との間にY方向の相対運動を生じさせる。

請求項（抜粋）：

弾性体と、その弾性体に結合される第1から第4の電気機械変換素子とから構成され、前記電気機械変換素子に入力される周波電圧に応答して、前記弾性体の所定位置に楕円振動を発生して、前記弾性体と接触する対象物との間に相対運動を生じさせる超音波モータにおいて、第1方向の駆動信号に応答して、前記第1及び第2の電気機械変換素子を電気的に接続して第1のグループを形成し、前記第3及び第4の電気機械変換素子を電気的に接続して第2のグループを形成し、前記第1グループと前記第2グループとに互いに位相の異なる第1周波電圧を印加して、第1モードの振動と第2モードの振動とを発生させ、これらが縮退して楕円振動を発生して、前記対象物との間に前記第1方向の相対運動を生じさせ、第2方向の駆動信号に応答して、前記第1及び第3の電気機械変換素子を電気的に接続して第3のグループを形成し、前記第2及び第4の電気機械変換素子を電気的に接続して第4のグループを形成し、前記第3グループと前記第4グループとに互いに位相の異なる第2周波電圧を印加して、第3モードの振動と第4のモードの振動とを発生させ、これらが縮退して楕円振動を発生して、前記対象物との間に前記第2方向の相対運動を生じさせることを特徴とする超音波モータ。