特許

J-GLOBAL ID：200903073083759987

極紫外線リソグラフィーシステム内で所定の帯域の放射線を取り除く格子ベースのスペクトルフィルター

発明者： シンガー、ボルフガング
出願人/特許権者： カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー
代理人 (8件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-531839
公開番号（公開出願番号）：特表2005-536900
出願日： 2003年07月30日
公開日（公表日）： 2005年12月02日
要約：

【要訳】【課題】【解決手段】本発明は、少なくとも1つの格子要素によって使用される波長と異なる波長の電磁放射線を減衰させる減衰器に関する。格子要素は、少なくとも1つの格子周期を生じる格子溝部を有している。本発明は、少なくとも1つの格子周期が使用される波長よりも相当に大きいことによって特徴付けられる。

請求項（抜粋）：

使用される波長、特に、少なくとも1つの格子要素(20、620、656.1)を有するEUV投影露光システム内で使用される波長と異なる波長の電磁放射線を減衰させるための減衰器であって、前記格子要素(20、620、656.1)は、少なくとも1つの格子周期(p)を作り出す格子溝部(450)と格子面とを有する減衰器において、前記少なくとも1つの格子周期(p)は、使用される波長よりもかなり大きく、この格子周期(p)は、使用される波長の150倍高く、特に、好ましくは200倍高いことを特徴とする減衰器。

IPC (3件)：

H01L21/027 ,  G02B5/18 ,  G21K1/06

FI (3件)：

H01L21/30 531A ,  G02B5/18 ,  G21K1/06 B

Fターム (9件)：

2H049AA07 ,  2H049AA50 ,  2H049AA52 ,  2H049AA55 ,  2H049AA66 ,  5F046GA03 ,  5F046GA14 ,  5F046GB07 ,  5F046GB09

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特許第6285497号