特許

J-GLOBAL ID：200903073085003430

湿度調節装置

発明者： 川村 武也
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 坂間 暁 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-012483
公開番号（公開出願番号）：特開平6-230834
出願日： 1993年01月28日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：

【要約】【目的】 本発明は水分補給頻度を著しく小さくし、かつ、吸湿剤の交換を必要とせず、しかも軽量小型化できる湿度調節装置を提供することを目的とする。【構成】 本発明は湿度調節を必要とする調節対象チャンバの空気を循環させる流路と、同流路に上記空気の加熱・冷却可能に設けられた区画と、同区画に水分の供給可能に、かつ、同区画で生じた結露を受入れ可能に設けられた水タンクとを具備してなることを特徴とする湿度調節装置を構成とする。

請求項（抜粋）：

湿度調節を必要とする調節対象チャンバの空気を循環させる流路と、同流路に上記空気の加熱・冷却可能に設けられた区画と、同区画に水分の供給可能に、かつ、同区画で生じた結露を受入れ可能に設けられた水タンクとを具備してなることを特徴とする湿度調節装置。