多成分を有するガラス基板用の微細加工表面処理液

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福森久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-265039
公開番号（公開出願番号）：特開2003-073144
出願日： 2001年08月31日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：

【要約】【課題】多成分を有する例えば液晶や有機ELなどのフラットパネルディスプレイ用のガラス基板自体を結晶の析出及び表面あれを生じさせることなく加工する事が出来る多成分を有するガラス基板用の均一組成を有する微細加工表面処理液を提供すること。【解決手段】フッ化水素酸を含有するとともに、フッ化水素酸よりも酸解離定数が大きい酸を少なくとも一種以上含有することを特徴とする。フッ化水素酸を含有するとともに、フッ化水素酸よりも酸解離定数が大きい酸を少なくとも一種以上含有する薬液であり、該フッ化水素酸よりも酸解離定数が大きい酸の含有量をxとし、ガラス基板をエッチングする液温における該薬液の熱シリコン酸化膜に対するエッチレートをf(x)[A/min]としたとき、該薬液は、x=x<SB>1</SB>おいて極小値f(x<SB>1</SB>)を有し、x=x<SB>2</SB>においてf(x)={f(x<SB>2</SB>)}/2を有し、(2/5)*x<SB>1</SB><x<x<SB>2</SB> の範囲で該フッ化水素酸よりも酸解離定数が大きい酸を含有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

F-イオンを含有するとともに、フッ化水素酸よりも酸解離定数が大きい酸を少なくとも一種以上含有することを特徴とする多成分を有するガラス基板用の微細加工表面処理液。

IPC (2件)：

C03C 15/00 , G02F 1/1333 500

FI (2件)：

C03C 15/00 B , G02F 1/1333 500

Fターム (10件)：

2H090JA02 , 2H090JB02 , 2H090JC03 , 2H090JC06 , 2H090JC19 , 4G059AA08 , 4G059AC30 , 4G059BB04 , 4G059BB14 , 4G059BB17

引用特許：

審査官引用 (13件)

艶消仕上面の形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-042347 出願人：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
特開昭52-144020
特開昭57-047744

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