特許

J-GLOBAL ID：200903073085856203

エレクトロマイグレーション評価方法および装置並びに被験体

発明者： 鶴丸 和弘 ,  尾崎 浩
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-302354
公開番号（公開出願番号）：特開平7-130816
出願日： 1993年11月08日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【目的】 エレクトロマイグレーション評価を簡単かつ正確に行う。【構成】 アルミニウム配線から成る被評価導体3に電流が所定の電流密度で流され、被評価導体3のエレクトロマイグレーション寿命が評価される方法において、被評価導体3への通電中に、被評価導体3の温度変化がこの被評価導体3近傍に配線されたモニター4で測定され、この温度測定データーに基づき被評価導体3近傍に配線されたヒーター5で被評価導体3の温度が一定に維持される。【効果】 被評価導体の温度を一定に維持して被評価導体自体の通電に伴う抵抗発熱による暴走を回避できるため、被評価導体においてエレクトロマイグレーション現象のみを引き起こせ、電流密度係数n、活性化エネルギーEaを短時間で正確に求められ、評価を短時間で正確に行える。被評価導体へのモニター、ヒーターの近接配置により、温度変化を正確に測定して温度を正確に制御できる。

請求項（抜粋）：

金属から成る被評価導体に電流が所定の電流密度をもって流されて、この被評価導体についてのエレクトロマイグレーション寿命が評価されるエレクトロマイグレーション評価方法において、前記被評価導体に電流が流されている際に、この被評価導体の温度変化が測定されるとともに、この温度測定データーに基づいて、この被評価導体の温度を一定に維持しようとする通電による温度制御が実行されることを特徴とするエレクトロマイグレーション評価方法。