特許
J-GLOBAL ID:200903073087143476

光吸収フィルタ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 武 顕次郎 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-075757
公開番号(公開出願番号):特開平10-268130
出願日: 1997年03月27日
公開日(公表日): 1998年10月09日
要約:
【要約】【課題】 所望の透過率を実現しつつ極めて低い反射率を実現することができ、かつ、多層膜の層数を著しく少なくすることができる光吸収フィルタの提供。【解決手段】 基板1上に、低屈折率膜2としてのSiO2 層と、金属膜3としてのNi層と、高屈折率膜4としてのTiO2 層をスパッタリング法等により順次積層し、これら三層構造の多層膜に対して高屈折率膜4側から光を入射するようにした。
請求項(抜粋):
中心波長λの光信号の一部を吸収して透過光強度を制限する光吸収フィルタであって、基板上に光の入射方向に対して高屈折率の誘電体膜ブロックと金属膜および低屈折率の誘電体膜ブロックの順に積層し、前記金属膜の中心波長λにおける屈折率が1以上であることを特徴とする光吸収フィルタ。
IPC (3件):
G02B 5/28 ,  B32B 7/02 103 ,  G02B 5/22
FI (3件):
G02B 5/28 ,  B32B 7/02 103 ,  G02B 5/22
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開昭56-008107
  • 特開昭57-195207
  • 特開昭55-047361
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