特許
J-GLOBAL ID：200903073110881633
ウェハ外周部のエッチング方法およびウェハ貼合わせ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大関 和夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-067614
公開番号（公開出願番号）：特開平5-270998
出願日： 1992年03月25日
公開日（公表日）： 1993年10月19日
要約：
【要約】【目的】 本発明はウェハ外周部のエッチング方法およびウェハの端面を揃えてブロックとするウェハ貼合わせ装置を提供する。【構成】 エッチング液に対して非反応性でかつ不溶性の接着剤により多数枚のウェハの端面を揃えて貼合わせてブロックとし、続いて接着剤を溶解するがウェハとは反応しない溶解液により該ブロックのウェハ外周部の接着剤を除去し、続いてエッチング液によりウェハ外周部のみをエッチングする。ウェハ貼合わせ装置は、接着剤を収容する槽とウェハ端面を揃えるためのガイド、ウェハ締め付け機構、ウェハ微動用超音波揺動機構を具備する。
請求項（抜粋）：
ウェハ外周部のエッチングに際し、エッチング液に対して非反応性でかつ不溶性の接着剤により多数枚のウェハの端面を揃えて貼合わせてブロック状ウェハとし、続いて前記接着剤を溶解するがウェハとは反応しない溶解液により前記ブロック状ウェハ外周部の接着剤を除去し、続いて接着剤が除去された前記ブロック状ウェハ外周部のみをエッチング液によりエッチングすることを特徴とするウェハ外周部のエッチング方法。
IPC (3件)：
C30B 33/08
, C30B 33/06
, H01L 21/306
