特許
J-GLOBAL ID:200903073128029373

紫外光硬化型樹脂用の紫外光照射装置および紫外光照射方法と紫外光照射装置を備えた基板貼り合わせ処理システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 三澤 正義
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-326102
公開番号(公開出願番号):特開平10-333160
出願日: 1997年11月27日
公開日(公表日): 1998年12月18日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、液晶ディスプレイ用ガラス基板の貼り合わせ処理工程において紫外光硬化型樹脂を含む部分のみに紫外光を照射して硬化させるためのUV光硬化型樹脂用の紫外光照射装置および紫外光照射方法と紫外光照射装置を備えた基板貼り合わせ処理システムを提供する。【解決手段】 液晶ディスプレイ用ガラス基板の貼り合わせ処理工程において基板(ワーク)1上に塗布により形成されているUV光硬化型樹脂2とその周辺部分(UV光硬化型樹脂2を含む部分4)のみにUV光源からUV光を照射する。UV光照射領域は、点状、線状、またはUV光硬化型樹脂の形成形状と同じ形状になるように形成される。なお、UV光源としてエキシマランプ等を用いる。
請求項(抜粋):
紫外光硬化型樹脂が形成されている液晶ディスプレイ用基板に紫外光を照射する照射手段と、前記液晶ディスプレイ用基板の貼り合わせ時において前記紫外光硬化型樹脂を含む部分のみに紫外光を照射して硬化させるように前記照射手段の動作を制御する制御手段とを有することを特徴とする紫外光硬化型樹脂用の紫外光照射装置。
IPC (3件):
G02F 1/1339 505 ,  G02F 1/13 101 ,  G03F 7/20 502
FI (3件):
G02F 1/1339 505 ,  G02F 1/13 101 ,  G03F 7/20 502

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