特許

J-GLOBAL ID：200903073136813563

光学記録媒体およびその製造方法

発明者： 宮田 一智
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 杉浦 正知
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-292314
公開番号（公開出願番号）：特開2001-118286
出願日： 1999年10月14日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：

【要約】【課題】 グレインサイズを小さくして、記録/再生を行う浮上型ヘッドの浮上特性および走行特性を向上させるとともに、積層膜の腐蝕を抑制して、耐久性を向上させる。【解決手段】 スパッタリング法により、ディスク基板2上に下地層3を形成する。ArガスにN2 ガスを添加した混合ガスを用いたスパッタリング法により、下地層3上にAlTiNを成膜することによって熱拡散層4を形成する。このスパッタリング法に用いられる混合ガス中のN2 ガスの分圧を、0.5〜10%、好ましくは1〜9%とする。熱拡散層4上に、第1の誘電体層5、光磁気記録再生層6および第2の誘電体層7を順次積層して、光磁気ディスク1を製造する。

請求項（抜粋）：

基板上に、下層から少なくとも熱拡散層、記録再生層および誘電体層が順に設けられ、上記誘電体層が存在する側から光を入射させることにより、情報の記録/再生を行うようにした光学記録媒体において、上記熱拡散層が、少なくとも窒素ガスを含むガスを用いて成膜されたアルミニウム膜またはアルミニウム合金膜からなることを特徴とする光学記録媒体。

IPC (6件)：

G11B 7/24 538 ,  G11B 7/24 533 ,  C23C 14/34 ,  G11B 11/105 501 ,  G11B 11/105 531 ,  G11B 11/105 546

FI (6件)：

G11B 7/24 538 L ,  G11B 7/24 533 L ,  C23C 14/34 M ,  G11B 11/105 501 Z ,  G11B 11/105 531 V ,  G11B 11/105 546 F

Fターム (15件)：

4K029BA23 ,  4K029BB02 ,  4K029BD00 ,  4K029CA06 ,  4K029EA03 ,  4K029EA05 ,  5D029LA13 ,  5D029LA16 ,  5D029LA19 ,  5D029LB01 ,  5D029LB02 ,  5D029MA27 ,  5D075EE03 ,  5D075FG02 ,  5D075GG03