特許

J-GLOBAL ID：200903073142354848

感光性樹脂組成物及びそれを用いたパターンの製造方法、電子部品

発明者： 上田 篤
出願人/特許権者： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-389217
公開番号（公開出願番号）：特開2005-148611
出願日： 2003年11月19日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：

【課題】 エステルで感光性付与する手法と添加剤を組み合わせて、骨格選択の自由度の高いアルカリ現像タイプの感光性樹脂組成物を提供すると共に、それを用いたポリイミドパターンの製造方法、電子部品を提供する。 【解決手段】 (A)一般式(1)で示される繰り返し単位を有し、かつR1及びR2として、少なくともその一部に(メタ)アクリロキシアルキルオキシ基を有するポリアミド酸不飽和エステルを含むポリイミド前駆体、及び(B)アクリル酸/又はメタクリル酸0.1〜100重量部を含む感光性樹脂組成物。 【化1】 (一般式(1)中、X及びYは芳香族環状基を示す、R1及びR2は、少なくともその一部に各々(メタ)アクリロキシアルキルオキシ基を含み、残りは、独立に水素原子又は一価の有機基を示す)【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(A)一般式(1)で示される繰り返し単位を有し、かつR1及びR2として、少なくともその一部に(メタ)アクリロキシアルキルオキシ基を有するポリアミド酸不飽和エステルを含むポリイミド前駆体、及び(B)アクリル酸/又はメタクリル酸0.1〜100重量部を含む感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F7/027 ,  C08F290/14 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

FI (4件)：

G03F7/027 514 ,  C08F290/14 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R

Fターム (24件)：

2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC33 ,  2H025BC69 ,  2H025BC83 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096BA05 ,  2H096BA06 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  4J027AD03 ,  4J027AD04 ,  4J027BA06 ,  4J027CD06 ,  4J027CD10

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特公昭55-41422号公報
  
• 特開昭54-145794号公報