電子ビーム励起エキシマランプ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：磯野道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-031900
公開番号（公開出願番号）：特開平10-233193
出願日： 1997年02月17日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】電磁雑音電波の影響を少なくする構成の誘電体バリア放電ランプの構成では、誘電体バリア放電ランプの全体の構成が大きくなり取り扱いが不便であった。また、その作業中にエキシマ光を被照射物に照射して測定器側と同期をとるなどの作業が極めて困難であった。【解決手段】放電容器2と、この放電容器内に隣接して設けた真空領域4および希ガス封入領域6と、前記真空領域に設けた電子ビームを発生する電子ビーム発生手段3と、この電子ビーム発生手段により発生した電子を通過させる前記真空領域の一端に設けた電子用窓部5と、前記希ガス封入領域の一端に設けた光用窓部7とを備えた電子ビーム励起エキシマランプとして構成した。

請求項（抜粋）：

放電容器と、この放電容器内に隣接して設けた真空領域および希ガス封入領域と、前記真空領域に設けた電子ビームを発生する電子ビーム発生手段と、この電子ビーム発生手段により発生した電子を通過させる前記真空領域の一端に設けた電子用窓部と、前記希ガス封入領域の一端に設けた光用窓部とを備えたことを特徴とする電子ビーム励起エキシマランプ。

IPC (4件)：

H01J 63/08 , H01J 3/06 , H01J 3/26 , H01J 63/02

FI (4件)：

H01J 63/08 , H01J 3/06 , H01J 3/26 , H01J 63/02

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