駆動装置、光学素子駆動装置、露光装置およびデバイス製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西山恵三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-169542
公開番号（公開出願番号）：特開2000-357651
出願日： 1999年06月16日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】可動部を高精度で軸方向に駆動する駆動装置を提供する。【解決手段】本発明の駆動機構は、第1部材と、該第1の部材の外側に配置された円環状の第2部材と、該第1部材と該第2部材とを連結する円環状の第1板部材と、該第1部材と該第2部材とを連結する該第1板部材と異なる円環状の第2板部材と、該第1部材、該第2部材、該第1板部材および該第2板部材により囲まれた空間に流体を供給する流体供給器とを備え、該空間に流体を供給し、または該空間の流体を排出することにより、該第1部材と該第2部材とを相対的に移動させることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

第1部材と、該第1の部材の外側に配置された円環状の第2部材と、該第1部材と該第2部材とを連結する円環状の第1板部材と、該第1部材と該第2部材とを連結する該第1板部材と異なる円環状の第2板部材と、該第1部材、該第2部材、該第1板部材および該第2板部材により囲まれた空間に流体を供給する流体供給器とを備え、該空間に流体を供給し、または該空間の流体を排出することにより、該第1部材と該第2部材とを相対的に移動させることを特徴とする駆動装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G02B 7/04 , G03F 7/20 521

FI (5件)：

H01L 21/30 515 D , G03F 7/20 521 , G02B 7/04 D , G02B 7/04 E , H01L 21/30 516 A

Fターム (10件)：

2H044BD01 , 2H044BD14 , 2H044BE01 , 2H044BE07 , 2H044BE18 , 5F046AA23 , 5F046CB12 , 5F046DA12 , 5F046DB04 , 5F046DB07

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭59-224124
光学装置および露光装置やデバイス生産方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-204168 出願人：キヤノン株式会社
特開昭61-250710

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