処理液中の酸濃度の測定方法および金属被処理物の処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-143683
公開番号（公開出願番号）：特開2001-324489
出願日： 2000年05月16日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：

【要約】【課題】金属被処理物を処理するための処理液中の酸の濃度を精度よく測定することが可能な処理液中の酸濃度の測定方法、および金属被処理物の処理を良好に行うことが可能な金属被処理物の処理装置を提供する。【解決手段】面出し処理装置には、シャドウマスク材Wに面出し処理を施すための面出し液Lを貯留する面出し液槽10と、この面出し液槽10内の面出し液L中の硫酸の濃度を測定するための硫酸濃度測定機構20と、蓚酸カリウム、クエン酸三カリウム、および蓚酸を含む金属封鎖液Kを貯留する金属封鎖液槽30と、補充用の硫酸Rを貯留する硫酸槽40と、を備えている。そして、硫酸濃度測定機構20においては、金属封鎖液KのpH値と、金属封鎖液Kおよび面出し液Lの混合液KLのpH値とを測定し、これらのpH値の差分(ΔpH)に基づいて面出し液L中の硫酸濃度が算出される。さらには、この硫酸濃度に基づいて硫酸Rの補充量が算出され、この補充量だけ面出し液槽10内に硫酸Rが補充されて、面出し液L中の硫酸濃度を精度よく制御する。

請求項（抜粋）：

金属被処理物を処理するための処理液中の酸の濃度を測定する方法において、少なくとも蓚酸アルカリ金属塩およびクエン酸三アルカリ金属塩を含む金属封鎖剤の水溶液のpH値を測定する第1のpH値測定工程と、上記金属封鎖剤の水溶液と上記処理液とを混合してこれらの混合液を生成する液混合工程と、この液混合工程で生成された混合液中のpH値を測定する第2のpH値測定工程と、上記第1のpH値測定工程で測定された金属封鎖剤の水溶液のpH値と、上記第2のpH値測定工程で測定された混合液のpH値と、の比較に基づいて、上記処理液中の酸の濃度を算出する酸濃度算出工程と、を備えることを特徴とする処理液中の酸濃度の測定方法。

IPC (7件)：

G01N 31/00 , C23F 1/00 , C23F 1/28 , G01N 1/00 , G01N 27/06 , G01N 27/416 , G01N 31/16

FI (7件)：

G01N 31/00 A , C23F 1/00 A , C23F 1/28 , G01N 1/00 E , G01N 27/06 Z , G01N 31/16 Z , G01N 27/46 353 Z

Fターム (26件)：

2G042AA01 , 2G042BB03 , 2G042CA10 , 2G042CB03 , 2G042DA02 , 2G042EA20 , 2G042FA19 , 2G042FB03 , 2G060AA06 , 2G060AE18 , 2G060AF08 , 2G060KA06 , 4K057WA10 , 4K057WB02 , 4K057WC10 , 4K057WE02 , 4K057WE03 , 4K057WE04 , 4K057WE07 , 4K057WE13 , 4K057WE14 , 4K057WG06 , 4K057WL10 , 4K057WM20 , 4K057WN01 , 4K057WN03

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