特許
J-GLOBAL ID：200903073156407561
ドライエッチング装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-230093
公開番号（公開出願番号）：特開平6-077169
出願日： 1992年08月28日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：
【要約】【目的】 ウェーハ保持機構のウェーハ接触部の欠落を検知可能なドライエッチング装置を提供する。【構成】 ウェーハ表面を下向きに保持するドライエッチング装置において、ウェーハ保持治具2’のウェーハ接触部5’を3か所とし、先端に傾斜を設ける。ウェーハ接触部が欠落するとウェーハ1は落下し、ウェーハ有無検知センサーで検知できる。【効果】 欠落した部分が発生するゴミに起因する製品不良の発生を防止できる。
請求項（抜粋）：
ウェーハ表面を下向きに保持する構造を有するドライエッチング装置において、ウェーハ接触部を3か所とし、かつそのウェーハ接触部分にウェーハ中心方向へ向かう傾斜をつけたことを特徴とするドライエッチング装置。
IPC (2件)：
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