特許
J-GLOBAL ID：200903073179490776
面入出力型光素子の実装方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-044879
公開番号（公開出願番号）：特開平5-243553
出願日： 1992年03月02日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：
【要約】【目的】 複数の面入出力型光素子からなる空間結線装置を容易に実現する。また、空間結線装置の小型化、位置合わせの簡略化、精度向上、生産性の向上を実現する。【構成】 面入出力型光素子を複数個を並列に配列して構成される光空間結線装置において、単結晶基板上に、複数の前記面入出力型光素子基板を挿入して固定する所定の溝幅と所定の配設間隔で設けられる位置設定用溝を異方性エッチングにより複数形成し、前記面入出力型光素子基板を、前記位置設定用溝にそれぞれ垂直に挿入して固定する。また、別の第2単結晶基板に、2つの前記第1単結晶基板を挿入して固定する所定の溝幅と所定の間隔で設けられる位置設定用溝を異方性エッチングにより2つ形成し、2つの第1単結晶基板を、第2単結晶基板に設けられた第2位置設定用溝にそれぞれ垂直に挿入して固定する。
請求項（抜粋）：
基板に対し垂直方向に光入出力を行う面入出力型光素子を並列に複数個配設して構成される光空間結線装置において、エッチング異方性を有する単結晶基板上に、複数の前記面入出力型光素子基板を挿入して固定する所定の溝幅と所定の配設間隔で設けられる複数の位置設定用溝を異方性エッチングにより形成し、前記面入出力型光素子基板を、前記位置設定用溝にそれぞれ垂直に挿入して固定することを特徴とする面入出力型光素子の実装方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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