特許

J-GLOBAL ID：200903073180455666

ガスセンサ及びガス検出装置

発明者： 佐藤 康弘 ,  藤沢 悦子 ,  石田 力
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-052164
公開番号（公開出願番号）：特開平8-247981
出願日： 1995年03月13日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【目的】 半導体式のガスセンサの構造を簡略化すると共に消費電力を軽減する。【構成】 基板2の表面の空洞3上に薄板状の支持部16を位置させ、その表面に金属酸化物の幅狭の薄膜により半導体17を形成し、この半導体17にリード電極18により発熱駆動用の駆動回路と抵抗検出用の検出回路とを接続し、抵抗変化によりガスを検出する半導体17を直接に発熱させる。

請求項（抜粋）：

基板の表面に空洞を形成し、この空洞上に薄板状の支持部を位置させ、この支持部の表面に金属酸化物の幅狭の薄膜により半導体を形成し、この半導体の両端に前記半導体を発熱駆動する駆動回路と前記半導体の抵抗変化を検出する検出回路とが接続されるリード電極を形成したことを特徴とするガスセンサ。