特許

J-GLOBAL ID：200903073185412868

プラズマ計測装置

発明者： 阿部 隆夫 ,  庄司 多津男
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社 ,  庄司 多津男
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-051592
公開番号（公開出願番号）：特開平7-263178
出願日： 1994年03月23日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】本発明は、空間的に不均一な密度分布を有するプラズマでも計測対象とでき、利用範囲の拡大を図ることができるプラズマ測定装置を提供する。【構成】真空容器21の同一高さ周面に沿って設けられた窓231、232より出力されるプラズマ22からの放射光を、光学フィルタ241とCCDカメラ251、光学フィルタ242とCCDカメラ252のそれぞれの組により検知し、CCDカメラ251、252よりプラズマ22側面の同一高さから見た映像信号として演算装置26に与え、プラズマ断面位置を一致させてスペクトル線強度分布を求めるとともに、これに基づいてプラズマ電子密度、中性子密度および電子温度の空間分布を計測する。

請求項（抜粋）：

プラズマを発生するプラズマ発生源と、このプラズマ発生源のプラズマからの放射光から任意のスペクトル線を抽出する波長選択素子と、この波長選択素子により抽出されるスペクトル線を取り込む撮像手段とを具備し、前記波長選択素子および撮像手段を一組として前記プラズマ発生源の周囲に複数組配置され、それぞれの撮像手段より出力される映像信号によるプラズマ断面位置を一致させてスペクトル線強度分布を求めることを特徴とするプラズマ計測装置。