特許

J-GLOBAL ID：200903073189384443

異物検査装置

発明者： 田代 英之 ,  萩原 恒幸
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-151961
公開番号（公開出願番号）：特開平10-002864
出願日： 1996年06月13日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】【課題】 大型の被検査基板を検査する異物検査装置であって低コスト化が可能なものを提供する。【解決手段】 異物検査装置は、m本の光ビームを被検査物上にそれぞれ1次元走査するm個の光ビーム走査手段と、被検査物上を走査すべき光ビームをm本の光ビームから択一的に選択する光ビーム選択手段と、n個の光ファイバ束であって、各光ファイバ束は一端部におけるm個の分岐部と他端部における1個の基部とを有し、各光ファイバ束のm個の分岐部は被検査物からのm種類の散乱光をそれぞれ受光する、ものと、n個の光ファイバ束の基部側の端面にそれぞれ近接するn個の光電変換手段であって、光ファイバ束の基部側の端面から出射する光をそれぞれ受光し、受光した光の強度に応じた信号をそれぞれ出力するものと、光電変換手段から出力される信号に基づいて異物の有無を判定する信号処理手段とを具備する。

請求項（抜粋）：

被検査物上の異物を検査する異物検査装置であって、m本の光ビームを前記被検査物上にそれぞれ1次元走査するm個の光ビーム走査手段と、前記被検査物上を1次元走査すべき光ビームを前記m本の光ビームから択一的に選択する光ビーム選択手段と、各々が多数の光ファイバで構成されているn個の光ファイバ束であって、各光ファイバ束は一の端部におけるm個の分岐部と他の端部における1個の基部とを有し、各光ファイバ束の前記m個の分岐部は前記m本の光ビームにそれぞれ起因する前記被検査物からのm種類の散乱光をそれぞれ受光する、ものと、前記n個の光ファイバ束の基部側の端面にそれぞれ近接するn個の光電変換手段であって、前記n個の光ファイバ束の基部側の端面から出射する光をそれぞれ受光し、受光した光の強度に応じた光電変換信号をそれぞれ出力するものと、前記光電変換手段から出力される前記光電変換信号に基づいて異物の有無を判定する信号処理手段と、を具備する異物検査装置。

IPC (5件)：

G01N 21/88 ,  G01J 1/42 ,  G01J 1/44 ,  G01V 8/20 ,  G01V 8/16

FI (6件)：

G01N 21/88 E ,  G01J 1/42 N ,  G01J 1/42 F ,  G01J 1/44 F ,  G01V 9/04 M ,  G01V 9/04 F