特許

J-GLOBAL ID：200903073191950847

タッチ信号プローブ

発明者： 西村 国俊 ,  日高 和彦 ,  西沖 暢久
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 木下 實三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-220474
公開番号（公開出願番号）：特開2000-055643
出願日： 1998年08月04日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：

【要約】【課題】 小型化を容易に図ることができ、かつ高精度のタッチ信号プローブを提供すること。【解決手段】スタイラスホルダ11と、このスタイラスホルダ11に支持されるとともに先端に被測定物と接触する接触部12Aを有する振動子12と、この振動子12を軸方向に共振状態で振動させる加振手段13Aと、被測定物との接触に際して発生する振動子12の振動の変化から当該接触を検出する検出手段13Bとを含むタッチ信号プローブ10において、振動子12は、当該振動子12の振動の節を挟む2箇所の支持点A、Bでスタイラスホルダ11により支持されている。2箇所の支持点に跨って加振手段13Aや検出手段13Bを配置することにより、2箇所の支持点A,B間に振動の節を形成し、タッチ信号プローブ10の小型化を図り易い。

請求項（抜粋）：

スタイラスホルダと、このスタイラスホルダに支持されるとともに先端に被測定物と接触する接触部を有する振動子と、この振動子を軸方向に共振状態で振動させる加振手段と、被測定物との接触に際して発生する前記振動子の振動の変化から当該接触を検出する検出手段とを含むタッチ信号プローブであって、前記振動子は、当該振動子の振動の節を挟む2箇所の支持点で前記スタイラスホルダにより支持されていることを特徴とするタッチ信号プローブ。

IPC (4件)：

G01B 21/00 ,  G01B 7/00 ,  H01L 21/66 ,  H01L 41/09

FI (4件)：

G01B 21/00 B ,  G01B 7/00 S ,  H01L 21/66 B ,  H01L 41/08 C

Fターム (23件)：

2F063AA04 ,  2F063AA41 ,  2F063CA34 ,  2F063DA02 ,  2F063DA05 ,  2F063DC08 ,  2F063DD02 ,  2F063EB02 ,  2F063EB22 ,  2F063JA01 ,  2F063LA05 ,  2F069AA04 ,  2F069AA61 ,  2F069DD27 ,  2F069GG01 ,  2F069GG11 ,  2F069HH01 ,  2F069LL02 ,  4M106AA20 ,  4M106BA11 ,  4M106CA70 ,  4M106DH01 ,  4M106DH11