特許

J-GLOBAL ID：200903073196327544

ワーク処理容器への気体導入装置

発明者： 橋本 敏明
出願人/特許権者： 株式会社光昭製作所
代理人 (1件)： 中村 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-239872
公開番号（公開出願番号）：特開平10-064873
出願日： 1996年08月22日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【課題】 ワーク処理容器内においてワーク上に帯電した静電気を容器内において除電するため無塵清浄イオン化気体を流量調節しながら容器に供給する。【解決手段】 外部気体イオン化装置10、ラインフィルタ13、電磁開閉弁14及び電磁流量調節弁15を直列接続して全体をユニット化してワーク処理容器1に対して着脱自在にする。

請求項（抜粋）：

外部空気又は不燃性気体が供給され該気体をイオン化するための気密容器でなる荷電装置とラインフィルタ、電磁開閉元弁及び電磁流量制御弁がその順に直列接続され、前記電磁流量制御弁の二次側がワーク処理容器に接続されてなるワーク処理容器への気体導入装置。

IPC (5件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  B01J 3/00 ,  B08B 15/02 ,  H01L 21/3065

FI (5件)：

H01L 21/304 341 Z ,  H01L 21/304 341 D ,  B01J 3/00 N ,  B08B 15/02 ,  H01L 21/302 B