特許

J-GLOBAL ID：200903073200289768

真空度の連続的計測方法及び真空度計測システム並びにそのプログラム

発明者： 西川 英一 ,  喜岡 俊英 ,  山岸 紀久雄
出願人/特許権者： ヨシオ電子株式会社
代理人 (1件)： 大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-085879
公開番号（公開出願番号）：特開2003-279433
出願日： 2002年03月26日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：

【要約】【課題】 真空度計測システムにおいて、装置規模及び処理規模の増大を抑えて、低真空度(大気圧)から高真空度までの広範囲の真空度計測を正確、容易かつ迅速に可能にする。【解決手段】 計測処理システム4は、真空度検出部3における異なった印加電圧ごとの複数の放電電流対真空度特性それぞれを観測する。この観測した複数の放電電流対真空度特性それぞれを記憶して、複数の放電電流対真空度特性それぞれの真空度特性を連接した真空度特性データを生成する。真空度特性データを、真空度の所定範囲を連接した連接真空度特性データ、傾きを補正した傾き補正真空度特性データ及び変形を実質的な直線に補正して連接した変形補正真空度特性データに生成する。

請求項（抜粋）：

順次の真空度範囲にわたり真空度を連続的に計測する真空度の連続的計測方法において、真空度検出部への印加電圧を、前記真空度範囲ごとに異ならせて、前記真空度検出部における放電電流対真空度特性をそれぞれ観測する工程と、この観測した複数の放電電流対真空度特性を記憶する工程と、前記順次の真空度範囲に対応する放電電流対圧力特性を連接させて、前記順次の真空度範囲の全真空度範囲に対応する真空度特性データを生成する工程と、を有することを特徴とする真空度の連続的計測方法。

Fターム (9件)：

2F055AA39 ,  2F055BB08 ,  2F055CC48 ,  2F055DD19 ,  2F055EE39 ,  2F055FF07 ,  2F055FF45 ,  2F055HH01 ,  2F055HH19

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭54-034281
  
• 特開昭54-034281
  
• 特開昭54-034281
  
• 特開昭54-034281