特許
J-GLOBAL ID：200903073201486460
半導体装置の製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-058689
公開番号（公開出願番号）：特開平5-267181
出願日： 1992年03月17日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：
【要約】【目的】排気系を有し排気するガスの種類濃度に応じて排気系を切り換える必要のある半導体装置の製造装置において、排気系の詰まりを防止する。【構成】排気ガスの種類や濃度等を色別するセンサー4を用ちその出力によりそれに対応した排気系統に自動的に切り換える。
請求項（抜粋）：
排気系を有し、排気するガスの種類・濃度に応じて排気系を切り換える必要のある半導体装置の製造装置において、排気ガスの種類・濃度等を識別するセンサーを備え、該センサーからの情報によりそれに対応した排気系統に自動的に切り換える事を特徴とする半導体装置の製造装置。
IPC (2件)：
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