特許
J-GLOBAL ID：200903073211877939
移動案内装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-275041
公開番号（公開出願番号）：特開平5-092335
出願日： 1991年09月27日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：
【要約】【目的】 第1部材上に非循環転動する転動体を介して第2部材を支持し、該第2部材を第1部材に設定された軌道に沿って相対移動させるための移動案内装置において、第2部材の高速かつ高精度な位置決めを可能にする。【構成】 第1部材2a,2bと第2部材1の移動面に垂直な方向および回転方向の相対変位を阻止するとともに移動方向に関して第1および第2部材間で非循環転動する転動体3a,3bと、この転動体の移動を制限する部材4と、前記転動体と第2部材との相対ずれを修正するために該第2部材をその有効ストローク範囲を越えて駆動する修正駆動手段とを具備する。
請求項（抜粋）：
第1部材に設定された軌道に沿って第2部材を相対移動させるための移動案内装置であって、移動面に垂直な方向および回転方向の第1部材と第2部材の相対変位を阻止するとともに移動方向に関して第1および第2部材間で非循環転動する転動体と、この転動体の移動を制限する部材と、前記転動体と第2部材との相対ずれを修正するために該第2部材をその有効ストローク範囲を越えて駆動する修正駆動手段とを具備することを特徴とする移動案内装置。
IPC (5件)：
B23Q 1/26
, G03F 7/22
, G03F 9/00
, G05D 3/00
, H01L 21/027
