特許

J-GLOBAL ID：200903073217914763

照明装置

発明者： 加藤 幾雄
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 石橋 佳之夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-122406
公開番号（公開出願番号）：特開2002-318364
出願日： 2001年04月20日
公開日（公表日）： 2002年10月31日
要約：

【要約】【課題】 面状に配列された同一種類の複数の光源から射出される照明光を、面形状被照明物体に照明する照明装置において、複数の光源がそれらの中心と周辺との間に光強度分布がある場合に、その光源の光強度分布不均一の影響を低減する。【解決手段】 面形状に配列された同一種類の複数の光源1a,1b,1cから出射される照明光を、面形状被照明物体に照射する照明光学系を有する。照明光学系は、照明光を複数の光源の配列方向に空間的に分割する手段2a,2b,2cを有するとともに、空間的に分割される照明光を面形状被照明体6において統合する手段4a,4b,・・・,5を有し、空間的に分割される照明光からなる複数の光束の、光軸に対する複数の光源位置が、光束間で異なる。空間的に分割される照明光からなる複数の光束に少なくとも2つ以上の光源からの照明光が含まれていてもよい。

請求項（抜粋）：

面形状に配列された同一種類の複数の光源から出射される照明光を、面形状被照明体に照射する照明光学系を有する照明装置において、照明光学系は、照明光を複数の光源の配列方向に空間的に分割する手段を有するとともに、空間的に分割される照明光を面形状被照明体において統合する手段を有し、空間的に分割される照明光からなる複数の光束の、光軸に対する複数の光源位置が、光束間で異なることを特徴とする照明装置。

IPC (5件)：

G02B 27/00 ,  G02B 19/00 ,  G03B 15/02 ,  G03F 7/20 501 ,  H01L 21/027

FI (9件)：

G02B 19/00 ,  G03B 15/02 F ,  G03B 15/02 G ,  G03B 15/02 Q ,  G03B 15/02 S ,  G03B 15/02 Z ,  G03F 7/20 501 ,  G02B 27/00 V ,  H01L 21/30 527

Fターム (13件)：

2H052BA02 ,  2H052BA06 ,  2H052BA11 ,  2H052BA12 ,  2H097CA03 ,  2H097CA05 ,  2H097CA12 ,  2H097CA14 ,  2H097CA17 ,  5F046CA03 ,  5F046CB12 ,  5F046CB14 ,  5F046CB23