特許

J-GLOBAL ID：200903073228527001

低誘電率の層間誘電体のためのナノ孔質ポリマ-フィルム及びその製造方法

発明者： マーク レオナルド オニール ,  ロイド マーロン ロブソン ,  ウィリアム フランクリン バーゴイン ジュニア ,  マイケル ラングサム
出願人/特許権者： エアー.プロダクツ.アンド.ケミカルス.インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-329794
公開番号（公開出願番号）：特開2000-154268
出願日： 1999年11月19日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：

【要約】【課題】 次世代の半導体装置で必要とされる低誘電率誘電体を提供するための方法とする。【解決手段】 低誘電率で厚さが10μm以下のナノ孔質ポリマーフィルムの製造方法であって、最低沸点溶媒と最高沸点溶媒との沸点差が約50°C以上である少なくとも2種の溶媒を含む溶液中でポリマーを提供して、30nm未満の平均気孔サイズの気孔をフィルムに形成することを含むナノ孔質ポリマーフィルムの製造方法とする。また、この方法によって製造されたナノ孔質フィルムとする。

請求項（抜粋）：

低誘電率で厚さが10μm以下のナノ孔質ポリマーフィルムの製造方法であって、(a)ポリマーを、このポリマーに対する少なくとも2種の溶媒を含む溶液中で提供し、ここで、最低沸点溶媒と最高沸点溶媒のそれぞれの沸点差が約50°C以上であり、(b)前記少なくとも2種の溶媒を伴う前記溶液中の前記ポリマーのフィルムを基材上に形成し、(c)所定量の前記最低沸点溶媒を除去し、(d)前記フィルムを、前記ポリマーに対する非溶媒であって少なくとも2種の前記溶媒と混和性の流体と接触させて、このフィルムに相転換をもたらし、そして(e)30nm未満の平均気孔サイズの気孔を前記フィルムに形成する、ことを含むナノ孔質ポリマーフィルムの製造方法。

IPC (3件)：

C08J 9/00 ,  H01B 3/30 ,  H01L 21/312

FI (3件)：

C08J 9/00 Z ,  H01B 3/30 Q ,  H01L 21/312 A

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特許第5708040号